sf6氣體純度是體積比還是質量比

都可以。

純度一般是指所需要的氣體佔總氣體的體積或質量的百分比。

六氟化硫，是一種無機化合物，化學式爲SF6，常溫常壓下爲無色無臭無毒不燃的穩定氣體，六氟化硫分子結構呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩定性很高，在溫度不超過180℃時，它與電氣結構材料的相容性和氮氣相似。