三氯氫硅學名三氯硅烷，化學式SiHCl3，一種無機化合物，爲具有刺激性惡臭易流動易揮發的無色透明液體。溶於苯、乙醚、庚烷等多數有機溶劑。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有着火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度範圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時引起猛烈的爆炸。
三氯氫硅一般指三氯硅烷，是一種無機化合物，化學式爲SiHCl3。爲無色液體，溶於苯、乙醚、庚烷等多數有機溶劑，主要用於製造硅酮化合物。
三氯氫硅是一種用途非常廣泛的有機硅單體，主要用於生產半導體硅、單晶硅和多晶硅的原料，亦是合成有機硅烷和烷基、芳基以及有機官能團氯硅烷最基本的單體。
三氯氫硅又稱硅氯仿。甲硅烷的三氯代物。爲一種易流動的無色液體，密度1.34克/釐米³ 能溶於苯、氯仿和二硫化碳。
