三氯硅烷是無色液體，極易揮發。
三氯硅烷是一種含有硅，氫和氯元素的化合物，溶解性：溶於苯、醚等多數有機溶劑，熔 點：-134℃，沸 點：31.8℃(水=1)1.37相對密度(空氣=1)4.7，性質穩定。滅火方法：消防人員必須佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或隔離式呼吸器、穿全身防火防毒服，在 上風處滅火。滅火劑： 乾粉、幹砂。切忌使用水、泡沫、 二氧化碳、酸鹼滅火劑。
三氯硅烷是一種無機物，化學式爲HCl3Si。爲無色液體，極易揮發，溶於笨、醚等多數有機物，性質穩定。主要用於有機硅烷和烷基、芳基以及有機官能團氯硅烷的合成，是有機硅烷偶聯劑中最基本的單體，也是生產半導硅、單晶硅的原料。
