1.製作晶圓。使用晶圓切片機將硅晶棒切割出所需厚度的晶圓。
2.晶圓塗膜。在晶圓表面塗上光阻薄膜,該薄膜能提升晶圓的抗氧化以及耐溫能力。
3.晶圓光刻顯影、蝕刻。使用紫外光透過光罩和凸透鏡後照射到晶圓塗膜上,使其軟化,然後使用溶劑將其溶解沖走,使薄膜下的硅暴露出來。
4.離子注入。使用刻蝕機在裸露出的硅上刻蝕出N阱和P阱,並注入離子,形成PN結(邏輯閘門)然後透過化學和物理氣象沉澱做出上層金屬連接電路。
5.晶圓測試。經過上面的幾道工藝之後,晶圓上會形成一個個格狀的晶粒。透過針測的方式對每個晶粒進行電氣特性檢測。