熔點(101.325kPa):-134℃沸點(101.325kPa):31.8℃液體密度(0℃):1350kg/m3相對密度(氣體，空氣=1):4.7蒸氣壓(-16.4℃):13.3kPa(14.5℃):53.3kPa燃點:-14℃自燃點:104.4℃閃點:-27.8℃爆炸極限:1.2~90.5%毒性級別:3易燃性級別:4易爆性級別:2
三氯硅烷在常溫常壓下爲具有刺激性氯化氫氣味易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有着火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成和Cl2
三氯氫硅：沸點(101.325kPa)：31.8℃三氯化磷 P原子以sp3雜化軌道形成σ鍵。分子形狀爲三角錐形。 【相對分子量或原子量】137.33
