純度不同。半導體硅片比光伏硅片的要求更高。
首先，半導體行業使用的硅片全部爲單晶硅，目的是爲了保證硅片每個位臵的相同電學特性。在形狀和尺寸上，光伏用單晶硅片是正方形，主要有邊長 125mm，150mm，156mm 的種類。而半導體用單晶硅片是圓型，硅片直徑有 150mm（6 寸晶圓），200mm（8 寸晶圓）和 300mm（12 寸晶圓）尺寸。在純度方面，光伏用單晶硅片的純度要求硅含量爲 4N-6N 之間（99.99%-99.9999%），但是半導體用單晶硅片在 9N（99.9999999%）-11N（99.999999999%）左右，純度要求最低是光伏單晶硅片的 1000 倍。在外觀方面，半導體用硅片在表面的平整度，光滑度和潔淨程度要比光伏用硅片的要求高。
