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露笑科技碳化硅長晶爐質量

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露笑科技碳化硅長晶爐質量

露笑科技在碳化硅晶體生長的長晶爐上具有較強的實力。公司憑藉在藍寶石業務上的深厚積澱,已突破以下幾項碳化硅長晶爐及長晶環節關鍵技術:

(1)、完成6寸石英管式碳化硅晶體生長爐開發,以獨特密封結構解決設備高真空度獲取與長時間保持的難題,極限真空<210-5Pa,具備工程化使用條件。

(2)、完成大尺寸碳化硅單晶製備相關理論的研究,透過計算機模型輔助計算,形成了單晶製備過程物質與熱量傳輸、缺陷演變的基本規律,解決了熱場均勻性差、大尺寸單晶應力聚集、單晶擴徑難等問題,爲6寸及以上半絕緣碳化硅晶體的製備打下了堅實基礎。

(3)、解決晶型生長控制難、微管密度大、晶體背向腐蝕嚴重等難題,提升了單晶質量,透過長晶過程中的除雜工藝實現了高電阻率晶體生長。

(4)、高純度碳化硅原料合成,有效降低原料中對電阻率提升有害的特定雜質含量濃度,達到小於1ppm量級。