衡量測量精度的三個指標是中誤差、極限誤差和相對誤差。
中誤差是衡量觀測精度的一種數字標準，亦稱“均方根差”。在相同觀測條件下的一組真誤差平方平均值的平方根。因真誤差不易求得，所以通常用最小二乘法求得的觀測值改正數來代替真誤差。它是觀測值與真值偏差的平方和觀測次數n比值的平方根。
極限誤差是指抽樣推斷中依一定概率保證下的誤差的最大範圍，所以也稱爲允許誤差。估計量加上允許誤差形成置信區間的上限，估計量減去允許誤差形成置信區間的下限。極限誤差表現爲某置信度的臨界值( 或稱概率度)乘以抽樣平均誤差。即：極限誤差= 臨界值x 抽樣平均誤差。
相對誤差指的是測量所造成的絕對誤差與被測量（約定）真值之比乘以100%所得的數值，以百分數表示。一般來說，相對誤差更能反映測量的可信程度。設測量結果y減去被測量約定真值t，所得的誤差或絕對誤差爲Δ。將絕對誤差Δ除以約定真值t即可求得相對誤差。
