xps是什麼材料

XPS， 全稱爲X-ray Photoelectron Spectroscopy（X射線光電子能譜）， 早期也被稱爲ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，是一種使用電子譜儀測量X-射線光子輻照時樣品表面所發射出的光電子和俄歇電子能量分佈的方法。