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崑山國產光刻機多少nm
心理
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100nm以下。崑山
國產
光刻機實際上是上海微電子2.5/3D封裝光刻機,崑山同興達向上海微電子購入兩臺SMEE封裝光刻機,封裝精度最高爲100nm以下。
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nm
光刻機
崑山
國產
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