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X射線光電子能譜(簡稱XPS), 它是一種重要的表面分析技術。它不僅能爲化學研究提供分子結構和原子價態方面的資訊,還能爲電子材料研究提供各種化合物的元素組成、化學狀態、分子結構、等方面的資訊。
XPS可用於定性分析以及半定量分析, 一般從XPS圖譜的峯位和峯形獲得樣品表面元素成分、化學態和分子結構等資訊,從峯強可獲得樣品表面元素含量或濃度。
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