XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)又稱ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，中文名：X射線光電子能譜儀。能夠分析出了氫，氦以外的所有元素。檢出限：測定精確到0.1at%， 空間分辨率爲100um， X-RAY的分析深度在1.5nm左右。
一個公式：E(b)= hv-E(k)-W
E(b): 結合能（binding energy）
hv: 光子能量 （photo energy）
E(k): 電子的動能 （kinetic energy of the electron）
W: 儀器的功函數（spectrometer work function）
