一氟甲烷沸點

一氟甲烷 ， 別 名：甲基氟 ， 爲無色易燃氣體， 分子量： 34.0 ，沸 點： -78.2℃ ，熔 點： -142℃， 溶解性： 易溶於醇、醚 ，密 度： 相對密度(水=1)0.88(-78℃)相對密度(空氣=1)1.20。

一氟甲烷在半導體工業中可作爲氮化膜的刻蝕氣體，高純一氟甲烷是一種綠色、高效的電子特氣，用於半導體及電子產品的刻蝕，對硅化物薄膜的刻蝕選擇性好，在射頻場下一氟甲烷會溶解氟離子，進行反應性離子蝕刻。