優點：
1、體型小巧，佔用空間小2、掃描電鏡結構設計簡潔，易於維護及保養3、高低壓真空設計，可調式電壓，爲不同樣品提供更合適的檢測環境4、測量精度高，所得數據值直接儲存爲圖片格式，不會出現丟失，和互聯網實現互聯，得到了有效性存儲5、強大的軟件功能。
缺點：
樣品上某一點同時穿過的電子方向是不同，這樣品上的這一點在物鏡1-2倍焦距之間，這些電子透過過物鏡放大後重新匯聚，形成該點一個放大的實像，這個和凸透鏡成像原理相同。
透射式聚焦頭有兩個主要優點，即光束易於調整和允許光束有偏心之類的小偏差，即允許光束偏心或角度偏離地射入透鏡。透射式系統較爲簡單，所用光學元件較少。
