潔淨室施工及驗收規範
》（jgj71-90）中規定，被檢高效過濾器須已經檢測過風量，並設計風速80%-120%之間執行，對於被檢高效過濾器上風側的顆粒濃度對受控粒徑對於≥0.5μm 粒子的濃度，須≥3.5×104pc/l，對受控粒徑≥0.1μm 的粒子濃度，須≥3.5×106-3.5×107pc/l。使用最小採樣量＞1l/min 的粒子計數器掃描法，對高效過濾器安裝接縫和主斷面進行掃描檢測，檢測點應距被測表面20-30mm，測頭以5-20mm/s 的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描。在《潔淨室施工及驗收規範》中規定，由高效過濾器下風側泄漏濃度換算成的穿透率來衡量是否合格
進瓶段和冷卻段高效過濾器過濾效率應滿足≥99.995%，加熱段高效過濾器過濾效率應滿足≥99.95%。這個合格標準是不是描述有誤啊99.995%指的是出廠時的過濾效率指標。而不是檢漏的標準。
