微納米技術（MEMS，nano technology）爲微機電系統(MEMS)技術和納米科學技術（nano science and technology， nano ST）的簡稱。是20世紀80年代末在美國、日本等發達國家興起的高新科學技術。由於其巨大的應用前景，因此自問世以來微納米技術受到了各國政府和學者的普遍重視，是當前科技界的熱門研究領域之一。
微機電系統技術主要涉及0.1μm到數毫米尺度範圍內的傳感器、微執行器和微系統的研究開發，它以單晶硅爲基本材料，以光刻並行製造爲主要加工特點，採用微電子工藝設備結合其他特殊工藝設備作爲加工手段。
納米尺度一般是指1～100nm，納米科學是研究納米尺度範疇內原子、分子和其他類型物質運動和變化的科學，而在同樣尺度範圍內對原子、分子等進行操縱和加工的技術則稱爲納米技術，納米尺度的機電系統則稱作納機電系統。
可見二者之間既有聯繫又有區別，前者是後者的基礎，而後者是前者的發展方向。
納米技術包含下列四個主要方面：
1、納米材料：當物質到納米尺度以後，大約是在0.1—100納米這個範圍空間，物質的性能就會發生突變，出現特殊性能。 這種既具不同於原來組成的原子、分子，也不同於宏觀的物質的特殊性能構成的材料，即爲納米材料。
2、納米動力學：主要是微機械和微電機，或總稱爲微型電動機械系統（MEMS)，用於有傳動機械的微型傳感器和執行器、光纖通訊系統，特種電子設備、醫療和診斷儀器等.用的是一種類似於集成電器設計和製造的新工藝。特點是部件很小，刻蝕的深度往往要求數十至數百微米，而寬度誤差很小。這種工藝還可用於製作三相電動機，用於超快速離心機或陀螺儀等。在研究方面還要相應地檢測準原子尺度的微變形和微摩擦等。雖然它們目前尚未真正進入納米尺度，但有很大的潛在科學價值和經濟價值。
3、納米生物學和納米藥物學：如在雲母表面用納米微粒度的膠體金固定dna的粒子，在二氧化硅表面的叉指形電極做生物分子間互作用的試驗，磷脂和脂肪酸雙層平面生物膜，dna的精細結構等。有了納米技術，還可用自組裝方法在細胞內放入零件或組件使構成新的材料。新的藥物，即使是微米粒子的細粉，也大約有半數不溶於水但如粒子爲納米尺度（即超微粒子），則可溶於水。
4、納米電子學：包括基於量子效應的納米電子器件、納米結構的光/電性質、納米電子材料的表徵，以及原子操縱和原子組裝等。當前電子技術的趨勢要求器件和系統更小、更快、更冷，更小，是指響應速度要快。更冷是指單個器件的功耗要小。但是更小並非沒有限度。 納米技術是建設者的最後疆界，它的影響將是巨大的。
