光刻機能用到中子射線嗎

不用中子射線。因爲中子射線具有穿透力，而穿透力產生的折射會浪費大量的能量，致使光刻機效率低下，甚至無法工作，所以不用中子射線。

頂尖光刻機用波長13.5納米的極紫外光源，好刻10納米以下的線條。但穩定的、大功率的極紫外光源很難造，一個得3000萬元人民幣。要求工作環境嚴苛，配合的光學和機械部件又極端精密，所以荷蘭的asml公司獨家壟斷極紫外光刻機，創造了“一臺賣一億美金”的神話。