埃安真空泵故障

1. 檢測真空泵的方法：將真空泵與其管道分離，用真空計直接測量真空泵進氣口，如果泵真空度達到使用標準就排除了泵漏氣的可能

2.檢測管道的方法：把管道或管道某一段取下，將其中一頭接在不漏氣的泵上，另一頭用真空計測量，透過這個方法檢測能夠分清漏氣點。