xps測試原理及樣品測試要求

XPS測試原理及樣品測試要求是指X射線光電子能譜是分析物質表面化學性質的一項技術。XPS可測量材料中元素組成、經驗公式、元素化學態和電子態。用一束X射線激發固體表面，同時測量被分析材料表面1－10nm內發射出電子的動能，而得到XPS譜。光電子譜記錄超過一定動能的電子。光電子譜中出現的譜峯爲原子中一定特徵能量電子的發射。光電子譜峯的能量和強度可用於定性和定量分析所有表面元素（氫元素除外）。