羅茨泵轉子與泵殼之間的縫隙很小，僅爲0.1mm左右，所以使羅茨泵有壓縮比，其極限真空可進入0. 1 Pa，與機械泵組成機組作爲高真空泵的前級泵，可以抑制機械泵的油返流。
當前級機械泵工作狀況差時，不能將羅茨泵排出的氣體及時抽走，會造成羅茨泵排氣口壓強過高，極限真空變差，此時轉子受到的阻力增大，摩擦生熱較高，容易使電機燒燬。爲了避免這一現象，通常在羅茨泵中安裝過載保護閥。當保護閥兩邊的壓強差大於幾千帕時，閥門開啟，減輕轉子的負載。
羅茨泵具有下述優點：
1、在較寬的壓強範圍內有較大的抽速
2、設有旁通溢流閥，可在大氣壓強下起動，縮短了抽氣時間
3、轉子之間、轉子與泵腔壁之間有間隙，泵內運動件無摩擦，無需潤滑，泵腔內無油
4、轉子形狀對稱，動平衡性能良好，運轉平穩，選擇高精度的齒輪傳動，運轉時噪聲低
5、結構緊湊，佔地面積小，通常選臥式結構，泵腔內氣體垂盲流動。
