EKC概念

ekc是光阻液化學品。

光阻液主要由樹脂(resin)，感光劑(sensitizer)，溶劑(solvent)三種成分混合而成。

光阻液種類: 光阻液分爲正光阻及負光阻兩種。

1、 正光阻: 光阻本身難溶於顯影液，曝光後解離成小分子，形成容易溶於顯影液的結構。

2、 負光阻: 曝光後形成不容易溶於顯影液的結構。