真空爐的擴散泵什麼原理

真空爐的擴散泵原理是在前級真空泵所造成的低真空條件下，加熱泵內硅油，使受熱沸騰蒸發，生成蒸氣，以極高速度透過該泵的各級噴口的縫隙噴出，使容器內部的氣體分子擴散到蒸汽中被帶到前級真空泵所能作用的位置，由前級真空泵迅速抽出，使系統達到高真空的要求。