工業硅：金屬硅或結晶硅，是由硅石(SiO2)和碳質還原劑在礦熱爐內經高溫反應冶煉形成的產品，主成分硅元素的含量在98%左右，可用於製造晶圓等。
根據具體用途對微量元素的要求，還分爲化學用硅和冶金用硅。工業硅在有機硅和硅合金市場上的應用沒有那麼嚴格，純度達到98.5%即可。但是多晶硅和單晶硅產品作爲太陽能光伏行業的原材料要求更高的純度，需要將工業硅進行進一步的提純。
生產優級工業硅的硅石，其氧化物雜質含量應達到:FezO3小於0.15%AlzO3小於0.20%CaO小於0.15%。如果生產超優質工業硅，對氧化物雜質的控制更嚴格，並對硅石中硼(B)磷(P)還有嚴格要求，Fe2O3小於0.1%AlzO3小於0.15%CaO小於0.10%.
