12寸光刻機多少錢一臺

12寸的1.5億歐元一臺。

荷蘭阿斯麥爾公司的euv光刻機售價大約1.5億歐元，不過要說明的是並沒有5納米光刻機，euv光刻機目前處於第一代，也就是13.5納米極紫外光光源波長本身就是euv光刻機的精度，荷蘭阿斯麥爾euv光刻機非常昂貴，每臺售價差不多1.5億歐元。