技術參數:
a)材料:康寧E-XG、PYREX7740、石英玻璃、BOROFLOAT、B270、D263T、AF32、BK-7
b)標準厚度:0.1mm、0.145mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.1mm、1.5mm(厚度公差±0.02mm)
c)標準尺寸:Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"(其他尺寸可定製)
d)外觀:60/4040/2020/10
e)表面粗糙度(Ra)<1.5nm
f)平行度<0.01mm
康寧E-XG玻璃晶圓基本性能:
技術參數:
Density/密度(g/cc)
2、3
Thermal Expansion/膨脹係數
3、0
Tran**ittance/透光率
>90%
softening point/軟化點
971℃
TTV/平整度
<0.005
Bow/翹曲度
<0.01
Warp/彎曲度
<0.01
Vickers Modulus/維氏硬度
640