輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度。輪廓儀的主要優點是可以測量所有固體膜，包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統能測繪整個表面輪廓。獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度，而小坎通常無法很標準。這樣，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。
是一種以非接觸方式直接實現粗糙度、形狀輪廓測量的儀器。
基恩士輪廓儀搭載了電動旋轉單元。在旋轉樣品的同時進行測量，能夠消除死角，再現真實的截面形狀。可簡單測量壁厚及凹陷尺寸。
另外，採用 HDR 掃描算法提升了掃描能力，即使是光學輪廓測量儀不擅長的有光澤的目標物或材料反光弱的目標物，也能瞬間判斷理想條件，正確測量形狀。與傳統機型相比，能夠將動態範圍最大擴大到 1000 倍進行掃描。
