晶圓電阻測試方法

晶圓電阻的測試方法是將晶圓放置在載片臺上，透過探針與晶圓接觸，對晶圓上的每個芯片電阻進行檢測。然而，由於晶圓上的芯片數量(尤其是8英寸以上的晶圓)較多，對晶圓上的每個芯片電阻進行檢測，耗費時間較長，從而導致集成電路的製造效率較低。