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正膠受光或紫外線照射後感光的部分發生光分解反應,可溶於顯影液,未感光的部分顯影后仍然留在晶圓的表面,它一般適合做長條形狀
反膠的未感光部分溶於顯影液中,而感光部分顯影后仍然留在基片表面,它一般適合做視窗結構,如接觸孔、焊盤等。
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