什么是决速反应

决速反应是指在低的晶圆片温度下，淀积速率随温度倒数减小而增加，在此区域，工艺中的限制在于某一步反应的速率，该反应可能发生在气相中也可能在表面。所提供的信息不足以确定气体是处于化学平衡还是动力学控制的。