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什么是制程半导体

心理 阅读(2.02W)
什么是制程半导体

半导体制程是一项复杂的制作流程,先进的 IC 所需要的制作程序达一千个以上的步骤。

这些步骤先依不同的功能组合成小的单元,称为单元制程,如蚀刻、微影与薄膜制程几个单元制程组成具有特定功能的模块制程,如隔绝制程模块、接触窗制程模块或平坦化制程模块等最后再组合这些模块制程成为某种特定 IC 的整合制程。

半导体工艺制程是指数字芯片中,晶体管的栅极宽度。因为在整个数字芯片中,晶体管的栅极是整个电路中最窄的线条。如果栅极宽度为40nm,则称其为40nm制程。制程越小,工艺越先进。