射頻電源是可以產生固定頻率的正弦波電壓，頻率在射頻範圍（約3KHz～300GHz）內、具有一定功率的電源。
射頻電源已廣泛應用於半導體工藝設備LED與太陽能光伏產業科學實驗中的等離子體發生射頻感應加熱醫療美容常壓等離子體消毒清洗等。
直流電源有正、負兩個電極，正極的電位高，負極的電位低，當兩個電極與電路連通後，能夠使電路兩端之間維持恆定的電位差，從而在外電路中形成由正極到負極的電流。直流電源是一種能量轉換裝置，它把其他形式的能量轉換為電能供給電路，以維持電流的穩恆流動。
射頻電源和直流電源的區別
濺射過程所用設備的區別就是電源的區別。其它都一樣，就是所用電源不一樣。直流運用直流電源，射頻運用交流電源（射頻屬於交流範疇，頻率是13.56MHz
