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半导体fdc全称是啥

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半导体fdc全称是啥

半导体fdc全称是电容传感器元件。电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件,将被测转物理量或机械量换成为电容量变化的一种转换装置,实际上就是一个具有可变参数的电容器。

电容式传感器广泛用于位移、角度、振动、速度、压力、成分分析、介质特性等方面的测量。

最常用的是平行板型电容器或圆筒型电容器。

半导体fdc全称是啥

半导体fdc全称故障检测和分类系统。

现代的制程管理方法中,故障检测和分类(fdc)系统被广泛引入到半导体制程中,用以分析控制制程步骤中各个机台的性能稳定。